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产品案例

Products case

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电镀金属产品案例

Electroplated metal

  • RDL
  • Pillar
  • Bump
RDL产品案例

特点:

1,可对应铜RDL和金RDL(包含无氰电镀金)。

2,电镀均一性**,Uniformity可控制在<±5%.

3,兼容8寸12寸晶圆。


Pillar产品案例

特点:

1,可对应高电流密度铜Pillar(30-80ASF)。

2,电镀均一性**,Uniformity可控制在<±6%.

3,兼容8寸12寸晶圆。


Bump产品案例

特点:

1,可对应Sn Bump,Sn-Ag Bump,Au Bump(包含无氰电镀金)。

2,电镀均一性**,Uniformity可控制在<±6%.

3,兼容8寸12寸晶圆。


应用制程产品案例

Application process

电镀金属产品案例——金

特点:

①.完全实现全自动化电镀生产,并可对应OHT系统。

 

②.同时适合晶圆级封装UBM、RDL、Bump。

 

③.电镀均一性**,Uniformity可控制在<±6%.


超级 TSV电镀铜系列

特点:

①完全实现全自动电镀生产,无需增加线外抽真空作业。


②可对应宽深比1:10的TSV孔型。


③.电镀均一性**,Uniformity可控制在<±6%.


电镀金属产品案例——镍

特点:

①.完全实现全自动化电镀生产,并可对应OHT系统。

 

②.同时适合晶圆级封装UBM、RDL、Bump。

 

③.电镀均一性**,Uniformity可控制在<±6%.


电镀金属产品案例——锡

特点:

①.完全实现全自动化电镀生产,并可对应OHT系统。

 

②.同时适合晶圆级封装UBM、RDL、Bump。

 

③.电镀均一性**,Uniformity可控制在<±6%.


上海戴丰科技有限公司
公司地址:
昆山市郁金香路499号5栋
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